XD系列真空泵 是指該泵可在常壓下啓動抽氣，并可将抽吸的氣體直接排放到大氣中。泵腔内無油或(huò)其他(tā)工作介質，壓力等于或接近油封真空(kōng)泵的機(jī)械真空泵。
截至 2013年，真空行業使用(yòng)的機械真(zhēn)空泵大多采用(yòng)油、水或其他聚合物等流體作爲泵(bèng)的工作介(jiè)質，在(zài)泵内具有冷卻(què)、密封、潤滑(huá)等多重功能。随着科學技術的發展(zhǎn)和真空應用領域的擴大(dà)，原有的機械真空泵及其排氣系統有兩個迫(pò)切需要解決的(de)問題：一是(shì)泵(bèng)的工作介質倒(dǎo)流(liú)，污染被抽容器，而這種回流在(zài)很多情況下會影響産品的質(zhì)量和數量，增加設備的維(wéi)護成(chéng)本。其次，真(zhēn)空泵中的介(jiè)質由于某些過程中的反應物而嚴重變質，使泵無法正常工作。
對(duì)于普通的無(wú)油真空系統，雖(suī)然(rán)可以使用油(yóu)封真空泵和冷阱或吸附阱等附件來防止回流，但不能完全解決問題，使系統複雜。使用合(hé)适類型的 XD系(xì)列(liè)真空泵 可以達(dá)到預期的效果。
XD系列真空(kōng)泵 應(yīng)用廣泛，主要表現在(zài)以下幾個方面：
1、低壓化學氣(qì)相沉積多晶矽制(zhì)備工藝；
2、半導體(tǐ)蝕刻工藝。 XD系列真空泵 在這些生産過程(chéng)中經常使(shǐ)用或産生腐蝕性氣體(tǐ)和磨料顆粒；
3、對于除半導體工藝外的一些會産生顆粒的工藝，預計顆粒不會混入 XD系列真空泵 的泵油中，預計顆粒會從泵中排出，某種類型的幹式機械(xiè)真空泵可(kě)以滿足要(yào)求；
4、在化工、醫藥、食品(pǐn)行業(yè)的蒸餾、幹燥、脫氣、包裝等過程(chéng)中，應防止有機溶劑造成污染，宜選用 XD系列真空泵 ；
5、 XD系列真空泵 用(yòng)作一般無油清潔真空系統的前級泵，防止油污。
