(1)在較寬的壓力範(fàn)圍内有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾(jǐ)何對稱(chēng)性,故振動小,運轉平穩。轉子(zǐ)間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速;
(3)泵腔内無需(xū)用油密封(fēng)和潤滑(huá),可減少油蒸氣對真空系統的污(wū)染;
(4)泵(bèng)腔内無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中(zhōng)的灰塵和水蒸汽不敏(mǐn)感;
(5)壓縮比較低,對氫氣(qì)抽氣效果差;
(6)轉子(zǐ)表(biǎo)面(miàn)爲形狀較爲複雜的曲線柱面(miàn),加工和檢查比較困難。